Laserbeschriftung von Silizium Wafern

Zur Beschriftung von mono- sowie multi-kristallinen Siliziumwafern innerhalb des Fertigungsprozesses bietet die Dr. Teschauer AG mit der Markierstation TL 2020-WM eine optimale Lösung der Qualitätssicherung. Durch ihre kompakte Bauweise ist die Anlage auch in bereits bestehende Fertigungslinien einfach zu integrieren.

Die Beschriftung der Wafer erfolgt in der Bewegung auf dem Band ( „On the Fly“). Durch diese einzigartige Technologie wird ein hoher Durchsatz von 1 Sekunde pro Wafer garantiert. Nach der Markierung erfolgt die prozessintegrierte Codeerkennung, die ebenfalls „On the Fly“ durchgeführt wird. Ein Bilderkennungssystem zur Lageermittlung der Wafer sowie ein patentiertes Synchronband unterstützen die Positionierung der Beschriftung sowie den reibungslosen Transport der Wafer.